For a listing of recent titles in the Artech House
Microelectromechanical Systems (MEMS) Series, turn to the back of this book.
MEMS Mechanical Sensors
Stephen Beeby
Graham Ensell
Michael Kraft
Neil White
Artech House, Inc.
Boston • London
www.artechhouse.com
Library of Congress Cataloging-in-Publication Data
A catalog record for this book is available from the U.S. Library of Congress.
British Library Cataloguing in Publication Data
Beeby, Stephen.
MEMS mechanical sensors.— (Artech House MEMS library)
1. Microelectricalmechanical systems—Design and construction
I. Beeby, Stephen
621.3’81
Xin lỗi bạn không thể down load tài liệu này. Bạn có thể xem tài liệu trực tuyến trên website hoặc liên hệ thư viện trường để được hướng dẫn. Cảm ơn bạn đã sử dụng dịch vụ của chúng tôi.
Bạn vui lòng tham khảo thỏa thuận sử dụng của thư viện số.