Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử

Cuốn sách "Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử" trình bày các nội dung chính sau đây: Vấn đề tỷ lệ kích thước; Phương pháp khắc bức xạ; Kỹ thuật khắc thô; Kỹ thuật chế tạo màng mỏng; Công nghệ vi cơ khối ướt;... Mời các bạn cùng tham khảo!

Từ khóa: Vũ Ngọc Hùng, Công nghệ vi hệ thống cơ điện tử, Cơ điện tử, Phương pháp khắc bức xạ, Kỹ thuật khắc thô, Kỹ thuật chế tạo màng mỏng, Công nghệ vi cơ khối ướt